Тетракис титана
Жидкий химический источник, пригодный для химического осаждения пленок нитрида титана из паровой фазы. Пленки TiN являются эффективными диффузионными барьерами для применения в микросхемах.
C8H24N4Ti
Titanium(IV) dimethylamide
CAS номер
Спецификация
3275-24-9
Синонимы
Тетракис (диметиламино)титан (IV), Тетракис (диметиламино)титан
3275−24−9, ТДМАТ, Тетракис (диметиламидо)титан (IV), Метанамин, N-метил-, соль титана (4+), MFCD00014861, Титан тетракис (диметиламмоний), EINECS 221−904−3 Метанамин, N-метил-, соль титана (4+) (4:1), Ти (NMe2)4, СХЕМБЛ45 685, C2H7N.¼Ti C2-H7-N.¼Ti, NSC130237, АКОС15 850 795, ТЕТРАКИС (ДИМЕТИЛАМИНО)ТИТАН NSC-130 237, Метанамин, N-метил-, соль титана (4), D92585, Тетракис (диметиламидо)титан (IV), технический, >=80%, Тетракис (диметиламидо)титан (IV), 99% TDMAT (99.99%-Ti) PURATREM
3275−24−9, ТДМАТ, Тетракис (диметиламидо)титан (IV), Метанамин, N-метил-, соль титана (4+), MFCD00014861, Титан тетракис (диметиламмоний), EINECS 221−904−3 Метанамин, N-метил-, соль титана (4+) (4:1), Ти (NMe2)4, СХЕМБЛ45 685, C2H7N.¼Ti C2-H7-N.¼Ti, NSC130237, АКОС15 850 795, ТЕТРАКИС (ДИМЕТИЛАМИНО)ТИТАН NSC-130 237, Метанамин, N-метил-, соль титана (4), D92585, Тетракис (диметиламидо)титан (IV), технический, >=80%, Тетракис (диметиламидо)титан (IV), 99% TDMAT (99.99%-Ti) PURATREM
Массовая доля (не менее)
99,99%
Класс опасности груза
Класс чистоты
99,999%
Марка материала
5N
Осаждение атомным слоем (ALD)
Химическое осаждение из паровой фазы (CVD)
Области применения
Связаться с нами
Вы можете перейти по активным ссылкам на месенджеры, написать нам на почту info@caschem.ru или позвонить
по номеру +7 (495) 487-64-70
по номеру +7 (495) 487-64-70
Нажимая кнопку «Отправить», вы соглашаетесь с политикой конфиденциальности
Оставьте свой номер телефона, и наш специалист свяжется с вами в ближайшее время